يبدو انك حملت اصدارات حديثة من السيرفر
انا استعمل وامب سيرفر وقمت بتثبيت الملف
wampserver2.2e-php5.4.3-httpd2.2.22-mysql5.5.24-32b.exe
ولم اواجه مشكلة بتثبيت البرنامج
تجد على هذا الرابط الاصدارات السابقة اختر php 5.4 وانتبه لنظام تشغيل ويندوز 32 او 64
https://sourceforge.net/projects/wampserver/files/WampServer%202/WampServer%202.2/wampserver2.2e/